半导体车间废气处理设备选择标准

 　半导体车间废气处理设备选择标准：

　　(1)半导体生产车间废气处理设备的选择是根据待消除气体的种类、浓度、流量和压力，减排设备的处理能力，综合考虑农药的寿命、前后与设备的关系等多种情况，挑选合适的处理方法和设备。

　　(2)半导体生产车间废气处理设备在混合时将会爆炸、起火或造成有害物的气体处理应该是一个***立的系统。

　　(3)可能有自燃性气体或可燃气体流动的排风管道采用不燃材料。

　　(4)不可以让半导体生产车间废气处理设备规格中规定的废气以外的废气流动，或准许***量废气流动超出废气处理设备的处理水平。